Fournaise de dépôt en carbure de silicium

Le four de dépôt en carbure de silicium est une méthode en introduisant des substances précurseurs (généralement des composés organiques ou des composés organiques métalliques) dans le gaz de réaction dans la chambre de réaction, et les faisant décomposer ou réagir chimiquement thermiquement à des températures élevées pour former le produit de réaction est déposé sur le substrat pour former un film mince. Cette méthode peut être utilisée pour préparer les fours industriels pour les matériaux de chauffage tels que les métaux, les alliages, les semi-conducteurs et la céramique.

Les fours électriques industriels sont largement utilisés dans les industries et fabrication de produits suivantes:

Disque de frein en carbone civil

Carbone-carbone Field Thermal Field Materifas pour un mon seul cristal Groissance Silicon Fournis de champ

thermique en carbone carbone pour les matériaux de champ

thermique en carbone en carbone pour les meubles en lingot en silicium en silicium en

carbone en carbone

Carbon

parties

Composites

en

carbone

carbone

-

carbone

-

silicium

CVD Chemical Vapor Deposition Furnace Product Paramètres

1. Modèle: yhgyl-cjl ** / ** - ** (spécifications de taille personnalisées)
2. Méthode de chauffage: chauffage de résistance au graphite isostatique
3. Contrôle de puissance: tension à courant continu basse, mode de courant élevé
4. La puissance de conception est de 200 kW et la puissance de production réelle ne dépasse pas 150 kW.
5. Alimentation: système triphasé à cinq fils, 380 V triphasé, fréquence 50Hz
6. Température de conception: 2100 ℃, la température commune à long terme est de 2000 ℃;
7. Méthode de refroidissement: refroidissement naturel
8. Espace de placement des matériaux efficace: personnalisé par le client
9. Taux de chauffage: Lors du chargement, le taux de chauffage moyen inférieur à 1000 ℃ est de 5 ℃ / min, le taux de chauffage moyen entre 1000 à 1800 ℃ est de 5 ℃ / min, et le taux de chauffage moyen entre 1800-2250 ℃ est de 3 ℃ / min.
10. Précision du contrôle de la température: RT Température ambiante -2000 ℃ ≤ ± 5 ℃
11. Configuration d'alimentation: intégrée au corps du fournaise
12. Type de corps du four: décharge de porte d'entrée horizontale
13. Contenu du gaz de travail dans le four: vide ou AR, N2, NH₃ et autres gaz (légère pression positive), remplacement du vide; (Contrôle automatique de la pression constante dans la plage de 100-7500pa)
14. Uniformité de la température: ≤ ± 3 ℃ (évalué après 30 minutes de température constante);
15. Mesure de la température: Mesure de température du thermocouple à manches en tungstène à zones multiples
16. Contrôle de la température: Japon SHIMADEN FP23, Contrôle du programme de contrôleur de température intelligent PID (précision du contrôle de la température: ± 0,1 ℃) et contrôle manuel;
17. Méthode de protection: Écran tactile PLC + + alarme sonore et lumière
18. Configuration du système sous vide: pompe de soupape de glissière 2H-150
19. Mesure de vide: résistance + calibre vide du film de capacité, plage de mesure 0-10-5 PA
20. Taux d'élévation de la pression: évacuer vers 5pa, arrêter la pompe pendant 30 minutes et commencer le timing, augmentation de la pression par heure ≤ 10p
21. Degré de vide ultime froid: ≤5pa (dans l'état de fournaise propre, froid et vide)
22. Temps d'aspiration vide de la fournaise ≤ 30 minutes (four vide, température ambiante, reportez-vous à GB / T10066.1-2004 pour les tests.)
23. Pression maximale dans la fournaise 0,02 MPA
24. Débit du flux de masse: Pékin Qixing Huachuang
25. Système de refroidissement: Tous les conduites d'eau en circulation sont bien scellées et il n'y a pas de fuite pendant l'utilisation;
26. Contrôle électrique: Siemens plc + écran tactile de 15 pouces delta. Les paramètres clés tels que le vide, la température et la puissance peuvent être interrogés en temps réel et historiquement, et peuvent être exportés via une clé USB et configurer un enregistreur sans papier.
27. Les matériaux importés sont utilisés pour les composants clés, tels que les instruments de contrôle de la température et les thermomètres.
28. Méthode d'ouverture: Manuel
29. Méthode d'entrée et de sortie des matériaux: équipé de camions d'entrée et de sortie spéciaux
30. Couleur de peinture: corps principal blanc laiteux, cadre bleu ciel, noir de base

Vitrine de produit