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Nitrure de silicium vide à haute température du frittage
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Nitrure de silicium vide à haute température du frittage

Nitrure de silicium vide à haute température du frittage

Description du produit
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Le carbure de silicium / silicium sous vide à haute température à haute température est un nouveau type de fournaise nouvellement développé par notre entreprise. Il a une précision de contrôle de température élevée de ≤0,1 ℃, une bonne uniformité de température de ± 2 ℃, et la température peut atteindre 2300 ℃. Petite empreinte et chiffre d'affaires flexible. Particulièrement adapté à la production de petits lots ou à une utilisation en laboratoire.

Paramètres du produit

1. Modèle: Yhgyl-Thl45 / 45-50
2. Méthode de chauffage: chauffage de résistance au graphite isostatique
3. Contrôle de puissance: tension à courant continu basse, mode de courant élevé
4. La puissance de conception est de 60 kW et la puissance de production réelle ne dépasse pas 50 kW.
5. Alimentation: système triphasé à cinq fils, 380 V triphasé, fréquence 50Hz
6. Température de conception: 2100 ℃, la température commune à long terme est de 2000 ℃;
7. Méthode de refroidissement: refroidissement naturel
8. Espace de décharge efficace: 450 mm de large, 450 mm de haut, 500 mm de profondeur
9. Taux de chauffage: Lors du chargement, le taux de chauffage moyen inférieur à 1000 ℃ est de 5 ℃ / min, le taux de chauffage moyen entre 1000 à 1800 ℃ est de 5 ℃ / min, et le taux de chauffage moyen entre 1800-2250 ℃ est de 3 ℃ / min.
10. Précision du contrôle de la température: RT Température ambiante -2000 ℃ ≤ ± 2 ℃
11. Configuration d'alimentation: intégrée au corps du fournaise
12. Type de corps du four: décharge de porte d'entrée horizontale
13. Contenu du gaz de travail dans le four: vide ou AR, N2, NH₃ et autres gaz (légère pression positive), remplacement du vide;
14. Uniformité de la température: ≤ ± 3 ℃ (évalué après 30 minutes de température constante);
15. Mesure de la température: Mesure de température de thermocouple à manches en tungstène à une zone à zones
16. Contrôle de la température: Japon SHIMADEN FP23, Contrôle du programme de contrôleur de température intelligent PID (précision du contrôle de la température: ± 0,1 ℃) et contrôle manuel;
17. Méthode de protection: Écran tactile PLC + + alarme sonore et lumière
18. Configuration du système sous vide: 2h-70 Pompe de soupape de glissière
19. Mesure de vide: résistance + calibre vide du film de capacité, plage de mesure 0-105pa
20. Taux d'élévation de la pression: vide à 5pa, arrêtez la pompe pendant 30 minutes et démarrez le timing, augmentation de la pression par heure ≤ 10p
21. Degré de vide ultime froid: ≤5pa (dans l'état de fournaise propre, froid et vide)
22. Temps d'aspiration vide de la fournaise ≤ 20min (four vide, température ambiante, reportez-vous à GB / T10066.1-2004 pour les tests.)
23. Pression maximale dans la fournaise 0,02 MPA
24. Pression de déclenchement de la vanne résistant à l'explosion: 0,07 MPA
25. Système de refroidissement: Tous les conduites d'eau en circulation sont bien scellées et il n'y a pas de fuite pendant l'utilisation;
26. Contrôle électrique: Siemens plc + écran tactile de 15 pouces delta. Les paramètres clés tels que le vide, la température et la puissance peuvent être interrogés en temps réel et historiquement, et peuvent être exportés via une clé USB et configurer un enregistreur sans papier.
27. Les matériaux importés sont utilisés pour les composants clés, tels que les instruments de contrôle de la température et les thermomètres.
28. Méthode d'ouverture: Manuel
29. Méthode d'entrée et de sortie des matériaux: équipé de camions d'entrée et de sortie spéciaux
30. Couleur de peinture: corps principal blanc laiteux, cadre bleu ciel, noir de base

Compte tenu du décalage grave de l'élévation de la température dans la section à basse température de la fournaise, la technologie d'ajustement de la courbe de contrôle de la température en plusieurs étapes AI est utilisée pour rendre la précision du contrôle de la température dans la section à basse température et à haute température Section cohérente, atteignant ≤ ± 2 ° C.

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Caractéristiques du produit

1. La température de travail maximale est de 2300 ℃ et la température commune est de 2250 ℃.
2. Atmosphère de travail: atmosphère d'air, frittage sous vide ou réduction de l'atmosphère de frittage (légère pression positive)
3. Mesure de la température: Thermocouple et composante de mesure de la température optique infrarouge
4. Contrôle de la température: contrôle du programme et contrôle manuel; Précision du contrôle de la température: ± 0,1 ℃

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